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TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介
作者:LETOU   发布时间:2020-06-11 08:28

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  LOGO TFT-LCD面板玻璃减薄工 艺流程及不良简介 Contents 1 2 3 减薄的作用 减薄工艺简介 常见的减薄不良 2 减薄的作用 1.减少占有的空间 2.使Glass达到一定的柔性 3 减薄工艺简介 封胶 减薄 研磨 防止酸碱溶液从边 缘处进入液晶盒内 ,破坏封框胶,进 入Cell内部,影响 产品性能。 用酸碱对Glass进 行刻蚀,从而达到 减薄的目的。 获得光亮、平整的 表面。 4 封胶 UV胶 封胶工艺 防止强酸破坏Cell封框胶以及进入Cell内部 1. 加盖遮光垫 一般在这之前 还会进行检查。 2.涂胶 涂胶后静置 1min。 3.擦胶 清除多的UV胶。 4. UV固化 UV固化后检查 破坏TFT结 构 5 封胶 GLS UV灯 边框胶 加盖遮光垫 涂胶 UV固化 涂胶后检查 6 减薄原理及方式 6HF+SiO2-H2SiF6+2H2O 1 液体+固体(玻璃)-液体 2 原理及方式 4 3 7 三种方式优缺点 瀑布流 单片直立喷洒 多片直立浸泡 优点: 1.可以同时间处理 多片玻璃。 缺点: 1.装置大型。 2.外围产生沉淀物, 白色粉沫,容易粘 附在Glass上。 优点: 1.可以满足两面不 同蚀刻要求。多片 缺点: 1.蚀刻表面易产生 凹点。 优点: 1.表面最光滑,甚 至可以不用抛光 8 减薄流程 清洗 Text in here 蚀刻 Slimming 清洗 9 减薄设备 Loader 单元 其余组件: 供酸装置 HF酸浓度计 预清洗单 元 蚀刻单元 清洗单元 干燥单元 Unloader 单元 温度控制器 洗气装置 10 减薄工艺参数 1.反应时间与玻璃质量损失的关系 图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系 11 减薄工艺参数 2.反应速率与反应温度的关系 图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系 12 减薄工艺参数 3.反应速率与HF酸浓度的关系 图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之 间的关系 说明: (HF)2是HF酸溶液中的最主 要活性成分,因为以氢键形式存在 的H-F键比HF分子中的H-F键更 脆弱,与SiO2反应时更容易断裂。 13 减薄清洗单元(后) a. DI水 b. 常温 C. 5min DI浸泡 碱浸泡 a. 5-10% NaOH b. 45℃鼓泡 C. 10min 酸浸泡 a. 3% HCl b. 或常温 C. 1min DI浸泡 a. DI水 b. 常温 C. 5min 清洗 14 研磨 Reject 外观检查 Polishing 清洗 外观检查 Item Picture 自动研磨 手动研磨 适应产品 可修复不良 无破损产品 不良率高发,严重不良 所有产品 不良率较低的轻微不良 CAPA Q-panel抛光,效率高 针对单点不良修复,效率低 15 减薄工艺自身不良 1.不可擦拭脏污 2.薄化不匀 16 减薄工艺自身不良 玻璃本身 玻璃本身含有杂质. 玻璃被蚀刻 时局部蚀刻不一 致 玻璃表面 1. 除胶未干净,有残留 2. PT等未清洗干净 工艺设备 1. 设备故障(Conveyer) 2.瀑布流分叉(瀑布流蚀刻方式) 3.Nozzle堵塞(喷淋式蚀刻方式) 17 Slimming后划伤 Human eye invisible Slimming Slimming前发生轻微Scratch Slimming后Scratch程度加重 18 Slimming后划伤 1. Lift Pin 凹点 19 Slimming后划伤 2.Robot吸盘凹点 20 Slimming后划伤 3.轮印 21 造成B-ITO不良 1.水渍酸印 现象: ADS产品做完B-ITO后,产品与BOX接触的位置ITO被严重 腐蚀 ,类似产品表面水干燥后残留的印记。 原因: BOX在Slimming车间长期周转,slimming车间内酸气长期在 BOX表面附着,从而使BOX表面呈现酸性 22 其它不良 1.电阻超标 原因: 酸残留 23 与减薄有关的性耐性 牢固度确认 ? 对LCM进行冲击和跌落。 ? 对LCM进行显示检查和外观检查 玻璃基板表面蚀刻状况确认 ? 将其放入冷热交替的冷热槽中 ? 对LCM进行显示检查和显微镜 Glass外观检查 TFT端子部腐蚀状况的确认 ? 高温高湿的老化槽内进行的持续老化。 ? SEM对TFT端子部的表面和断面的观 察分析 24 End 谢谢! 25


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