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LETOU玻璃材料有限公司
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玻璃减薄技术
作者:LETOU   发布时间:2020-06-15 17:49

  LOGO材科112 贺文杰 5 浮法玻璃成型的定义浮法玻璃成型的定义 浮法玻璃成型工艺过程为熔化、澄清、冷却的优 质玻璃液在调节闸板的控制下经流道平稳连续地 流入锡槽,在锡槽中漂浮在熔融锡液表面,在自 身重力的作用下摊平、在表面张力作用下抛光、 在主传动拉引力作用下向前漂浮,通过挡边轮控 制玻璃带的中心偏移,在拉边机的作用下实现玻 璃带的展薄或积厚并冷却、固型等过程,成为优 于磨光玻璃的高质量的平板玻璃。 浮法玻璃成型原理浮法玻璃成型原理 浮法玻璃的成型过程原理主要是描述玻璃液在锡 液面上的摊开过程、平衡厚度、抛光时间、玻璃 玻璃液的拉薄玻璃液的拉薄 浮玻璃液在重力和表面张力平衡时,在锡液面上 形成自然厚度约7mm 的玻璃带。拉引厚度小于 自然厚度的玻璃时,必须对玻璃带施加一定的拉 力。但是当增加拉引速度时,随着拉引力的增加 ,玻璃宽度和厚度就成比例地减小,因为在玻璃 带被拉薄的同时,表面张力的作用使得玻璃带增 厚或使带宽有所收缩,因此要使拉薄过程有效地 、顺利地进行,必须选择适宜的温度范围、采用 合理的工艺参数和拉薄措 玻璃液的拉薄施。实践证明,温度范围883~769,有利于 玻璃带的拉薄,同时,玻璃带在拉薄区内获得了 展薄。为了得到并维持玻璃带在拉薄区内所获得 的宽度,在拉薄区玻璃带的两边,可根据工艺要 求安置若干个拉边机。 影响成型质量的因素浮法玻璃成型需要多方面的配合,任何一方面出 现问题均会造成玻璃质量的下降,严重者可导致 停产,其中影响成型质量的因素主要包括 TFT-LCD减薄的作用 减薄的作用1.减少占有的空间 2.使Glass达到一定的柔性 10 减薄工艺简介 用酸碱对Glass进 行刻蚀,从而达到 减薄的目的。 防止酸碱溶液从边 缘处进入液晶盒内 ,破坏封框胶,进 入Cell内部,影响 产品性能。 获得光亮、平整的 表面。 研磨11 封胶工艺封胶工艺 防止强酸破坏Cell封框胶以及进入Cell内部 加盖遮光垫2.涂胶 UV固化UV胶 破坏TFT结 一般在这之前还会进行检查。 涂胶后静置 1min。 清除多的UV胶。 UV固化后检查 12 UV固化UV灯 GLS 边框胶 涂胶后检查 涂胶 加盖遮光垫 13 原理及方式 减薄原理及方式6HF+SiO2-

  H2SiF6+2H2O 液体+固体(玻璃)-

  液体 14 单片直立喷洒 瀑布流 多片直立浸泡 优点: 1.可以同时间处理 多片玻璃。 缺点: 1.装置大型。 2.外围产生沉淀物, 白色粉沫,容易粘 附在Glass上。 优点: 1.可以满足两面不 同蚀刻要求。多片 缺点: 1.蚀刻表面易产生 优点:1.表面最光滑,甚 至可以不用抛光 三种方式优缺点 15 Text hereText here蚀刻 蚀刻 清洗 清洗 清洗 清洗 减薄流程 Slimming 16 17 减薄设备 其余组件: 供酸装置 HF酸浓度计 温度控制器 洗气装置 Loader 单元 预清洗单 蚀刻单元清洗单元 干燥单元 Unloader 单元 18 减薄工艺参数 1.反应时间与玻璃质量损失的关系 图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系 19 减薄工艺参数 2.反应速率与反应温度的关系 图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系 20 减薄工艺参数 3.反应速率与HF酸浓度的关系 图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之 间的关系 说明: (HF)2是HF酸溶液中的最主 要活性成分,因为以氢键形式存在 的H-F键比HF分子中的H-F键更 脆弱,与SiO2反应时更容易断裂。 21 减薄清洗单元(后) DI浸泡 碱浸泡 酸浸泡 DI浸泡 5-10%NaOH 3%HCl 5min清洗 清洗 外观检查 Polishing 外观检查 Reject Item 自动研磨 手动研磨 Picture 适应产品 无破损产品 所有产品 可修复不良 不良率高发,严重不良 不良率较低的轻微不良 CAPA Q-panel抛光,效率高 针对单点不良修复,效率低 研磨 22 23 减薄工艺自身不良 1.不可擦拭脏污 1.不可擦拭脏污 24减薄工艺自身不良 玻璃本身含有杂质. 设备故障(Conveyer)2.瀑布流分叉(瀑布流蚀刻方式) 3.Nozzle堵塞(喷淋式蚀刻方式) 玻璃被蚀刻 时局部蚀刻不一 工艺设备工艺设备 玻璃表面 玻璃表面 玻璃本身 玻璃本身 25 Slimming后划伤 Slimming前发生轻微Scratch Slimming后Scratch程度加重 Human eye invisible Slimming 26 Slimming后划伤 LiftPin 27Slimming后划伤 2.Robot吸盘凹点 28 Slimming后划伤 29造成B-ITO不良 现象: ADS产品做完B-ITO后,产品与BOX接触的位置ITO被严重 腐蚀 ,类似产品表面水干燥后残留的印记。 原因: BOX在Slimming车间长期周转,slimming车间内酸气长期在 BOX表面附着,从而使BOX表面呈现酸性 1.水渍酸印 30 其它不良 1.电阻超标 原因: 酸残留 与减薄有关的性耐性 玻璃基板表面蚀刻状况确认 TFT端子部腐蚀状况的确认 牢固度确认 对LCM进行显示检查和显微镜Glass外观检查 SEM对TFT端子部的表面和断面的观察分析 对LCM进行显示检查和外观检查31 End 32 谢谢!

  玻璃减薄 技术。?浮法减薄技术 ?TFTLCD面板玻璃减薄工艺流程及 不良简介。2。浮法减薄技术。3。浮法玻璃成型的定义。4。浮法玻璃成型原理。5。玻璃液的拉薄。6。玻璃液的拉薄。7。影响成型质量的因素。8。TFTLCD面板 玻璃减薄。9。减薄的作用。10。减薄工艺简介。封胶。减薄。研磨。防止酸碱溶液从边 缘处进入液晶盒内 ,破坏封框胶,进 入Cell内部,影响 产品性能。。用酸碱对Glass进 行刻蚀,从而达到 减薄的目的。。


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